从芯片研发的动态测试，到前道制造的蚀刻、CVD、离子注入，我们提供贯穿半导体全产业链的温控解决方案。

SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型高低温动态控温系统。功能与PTHC系列相同，可实现物料温度控制、夹套温度控制。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。适用于需要快速加热和降温的外部应用，对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制，材料测试，尤其适合在反应过程中有吸热、放热过程控制。

Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。主要部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。