在温度控制方面，其精度可达 ±0.1℃。无论是高温环境下的稳定维持，还是低温状态的精准把控，都能轻松应对。

恒温恒湿机在基板曝光前，能有效维持其表面温度的均一性。经过此设备处理后的空气，温度控制精度可达目标值士0.01°℃，充分满足制程环境对温控的极致要求。该设备的应用，不仅确保了产线环境的稳定，更为产品的高良率提供了坚实保障。在精密制造领域，恒温恒湿机的这一卓越性能，无疑为生产流程的顺畅与品质的提升贡献了不可或缺的力量。

-135℃~+225℃,可以满足不同温度的需求，可非标定制； 可选配精确控温形式，控温精度最高可达±0.1℃; 采用高效换热器，降温速度快，常温至-80℃最快只需5分钟； 可选配冷量回收装置，提升能效，避免低温冷凝水。 可选配进气流量自动控制与检测

直冷型制冷机采用制冷剂直接蒸发，降温方式为相变制冷，与液冷的温差降温相比，降温速度快，能效高，设备无循环系统，外形尺寸更紧凑！