超低温精密液体温度调节装置

主要用于半导体流片测试设备中、提供晶圆测试所需要的温度进行精密控制,以达到测试所需要温度。

应用领域:晶圆制造、液晶面板、封装测试、精密测量、学术研究等。

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设备名称

  • 设定温度范围
  • 温度稳定性
  • 最大冷却能力能力
  • 流量调节范围
  • 供液管路

超低温精密液体温度调节装置

  • -65~200°C
  • 士0.5°C
  • 1.5kw
  • 4L/min
  • 1CH

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