Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。主要部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴，气体捕集、药品冻干等多种用途。设备内不含蒸发器，通过外部连接管路，将低温低压液体制冷剂输送到客户负载（蒸发器）内。制冷剂在蒸发器内蒸发吸热，快速带走负载热量后到达目标低温。直冷型制冷机采用制冷剂直接蒸发，降温方式为相变制冷，与液冷的温差降温相比，降温速度快，能效高，设备无循环系统后，外形尺寸更紧凑。

给芯片 、模块 、集成电路板、电子元器件等提供精确且快速的环境温度。替代液氮为局部热源提供快速降温。产品电性能 、 可靠性 、老化等测试提供冷源