产品介绍 | Chiller高精度冷热循环器（PTS系列）

发布时间：2025年07月14日　　　阅读次数：19 次

精准控温，精度卓越

在当今高科技制造业中，特别是在半导体行业的CVD/PVD、Etch和IMP等关键工序，对温度的精确控制是保证产品质量和工艺稳定性的关键。Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，以其优秀的性能和精准的温度控制，成为半导体制程中温度控制的理想选择。

Chiller高精度冷热循环器

PTS系列

控温范围

-30~90℃

控温对象

产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。

是否支持定制

支持定制。

工作原理图

设备特点

变频技术与节能

采用变频技术，通过系统结构设计和自主控制算法，精准调节压缩机输出频率，满足制程需求的同时实现最低能耗。

全密闭式系统

全密闭设计，无油雾、无异味，导热液体使用寿命长。

快速加热与制冷

参与循环的导热液体少，加热和制冷速度快。独立的制冷与加热单元，精确控制温度变化，热惯性小，响应速度快。

模块化设计

结构紧凑，占地面积小，安装方便，移动便捷。

智能监控与诊断

运行状态实时显示，故障自动诊断，具备多项报警保护功能。

控制重复性与稳定性

基于高级动态控制系统，确保每次控制结果一致，提升生产稳定性。

自适应PID控制

自适应PID算法，适应不同环境和负载，无需调整参数，实现最佳温度控制。

应用场景

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半导体行业温控专家