产品介绍 | Chiller高精度换热温控单元（PHE系列）
在半导体制造工艺中，温度控制是实现高精度工艺流程的关键环节。
Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品，以其卓越的控温性能和稳定性，成为半导体行业、激光技术、高端医疗和精密实验室等领域的首选。
Chiller高精度换热温控单元
PHE系列
5~110℃
Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。主要部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、板式换热器、水箱、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。
产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。
支持定制。
系统无需压缩机，利用公用工程冷却水进行降温与温度控制。
独立的制冷与加热单元，精确控制温度变化，热惯性小，响应速度快，可实现快速降温或升温。
运行状态实时显示，故障自动诊断，具备多项报警保护功能。
基于高级动态控制系统，确保每次控制结果一致，提升生产稳定性。
自适应PID算法，适应不同环境和负载，无需调整参数，实现最佳温度控制。
