半导体温控单元（Chiller，即半导体专用制冷机）凭借高精度控温能力（通常温差可控制在 ±0.1℃内），贯穿芯片制造全流程，是保障工艺稳定性与产品良率的关键设备，核心应用场景如下：
- 光刻环节：为光刻胶涂胶显影机（Coater/Developer）控温，防止光刻胶因温度波动出现粘度变化、膜厚不均，同时稳定光刻机投影物镜温度，避免热胀冷缩导致的成像精度偏差，保障纳米级线宽图形的精准转移。
- 蚀刻环节：冷却等离子蚀刻机的反应腔室与电极，快速带走蚀刻过程中（如硅片与等离子体反应）产生的局部高温，避免腔室部件形变或工艺参数漂移，确保蚀刻深度、侧壁垂直度的一致性。
- 薄膜沉积环节：在化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）中，为沉积腔室及载片台控温，防止温度过高导致薄膜成分异常、结晶度变差，或温度不均引发的薄膜厚度差异。
- 离子注入环节：冷却离子注入机的靶室与束流系统，避免高能离子轰击硅片产生的热量累积，防止硅片晶格损伤或靶室部件过热损坏，保障注入剂量与深度的精度。
- 检测与封装环节：在芯片电学性能测试中，为测试平台控温，模拟芯片实际工作温度环境，确保测试数据准确；封装阶段则冷却封装模具与焊料固化设备，控制封装材料的热收缩率，提升封装可靠性。
