半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

主要由加热循环系统、冷却系统、控制系统、箱体等组成。加热循环系统包括循环泵、电加热器、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、循环管道等组成。冷却系统包括油水换热器、油油换热器（部分设备）、冷却水电磁阀、高温电磁阀等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的加热与冷却，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

应用领域： 晶圆测试载冷台提供低温气体 芯片低温测试 激光设备局部区域降温 液晶触摸屏低温冷冻脱胶 材料性能测试 热沉实验温度控制 结晶系统控温

主要由制冷系统、循环系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌。循环系统包括循环泵、蓄冷容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。