气体制冷机

通过机组自身的高效换热系统,将进入装置内的干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温恒温状态, 设备出来的气体即可达到目标低温温度。

直冷型低温制冷机

PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴,气体捕集、药品冻干等多种用途。

chiller高精度冷热循环器

Chiller高精度冷热循环器,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、高端医疗和精密实验室温控方案。

chiller高精度换热温控单元

Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、高端医疗和精密实验室温控方案。

精密冷水机

TLS精密冷水机:使用温度范围:5~85℃,配有加热器,属于制冷加热一体机。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。

小型高低温动态控温系统

SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型高低温动态控温系统。适用于对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制,材料测试。

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