用于气体的降温与冷却,也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的,也可以是高温的,经过气体制冷机降至目标低温。
液冷制冷机通常用于需要大量冷却的设备或高温环境下的设备,例如计算机服务器、工业设备等。相对于传统的空气冷却系统,液冷制冷机具有更高的冷却效率和散热能力。
PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测
试、热沉试验、低温液浴,气体捕集、药品冻干等多种用途。
半导体专用温控装置(Chiller)主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制,主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置,属于生产过程中的温控设备。
主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精准控制
利用液冷热交换对主要热源进行冷却,减少风冷系统的使用。通过液冷设备为发热元件提供冷却液循环, 节省了空气换热环节, 并省却大量制冷系统的能耗。