通过机组自身的高效换热系统,将进入装置内的干燥气体(如氮气,氩气或空气)从环境温度冷却到低温恒温状态, 设备出来的气体即可达到目标低温温度。
PTZL系列直冷型制冷机适用于真空涂覆冷阱、半导体芯片测试、热沉试验、低温液浴,气体捕集、药品冻干等多种用途。
Chiller高精度冷热循环器,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、高端医疗和精密实验室温控方案。
Chiller高精度换热温控单元PHE系列产品,控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域,激光、高端医疗和精密实验室温控方案。
TLS精密冷水机:使用温度范围:5~85℃,配有加热器,属于制冷加热一体机。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。
SMART系列产品是专门为实验室应用开发的一款小型高低温动态控温系统。适用于对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制,材料测试。
适用于需要快速加热和降温的外部应用,对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制,材料测试,尤其适合在反应过程中有吸热、放热过程控制。
气体冷凝回收机组适用于气体冷却及污染性气体冷凝回收,将易挥发的VOCs气体通过低温冷凝工艺收集起来,减少气体对环境的污染,同时达到回收利用的目的。
依据不同工艺制程要求,控制设定温度、压力、扬程的循环液流经半导体工艺设备,如:chuck盘(晶圆卡盘)、载物台等,以实现半导体工艺制程的控温需求。
直冷制冷机是将制冷系统中的制冷剂直接输出蒸发进入需控温的换热器或控制腔体元件内,从而使目标设备快速降温恒温
此类设备解决传统高低温箱无法满足的局部测试要求,方便移动、包含以下:
1、高低温冲击热流仪
2、接触式高低温冲击机
3、热控卡盘、平板
此设备采用半导体制冷片(TEC)实现加热制冷功能,优点:体积小、噪音低、热效率高,适合高精度测试仪器、医美设备等高精度控温需求。
液晶面板测试设备又名:LCD液晶恒温测试机、平板显示精密恒温机、液晶平板恒温机。主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制
化工、制药、生物领域双层反应釜的温度控制
蒸馏结晶净化系统控温
高压反应釜温度控制
双层反应釜冷热源动态恒温控制
搅拌罐温度控制
微通道反应器冷热源恒温控制
结晶系统控温
探针台是高精度高低温探针台的核心组件,其主要功能是将芯片与测试仪器相连,并通过使用探针与芯片交互,测量芯片的电学性能以及特定功能的运行状态。
应用于元器件的特性分析、高低温温变测试、温度冲击测试、失效分析等可靠性试验