温度控制精度
±2%RH~±1%RH
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制

温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，此设备可满足制程环境更精准的温控需求，确保产线环境的稳定性及产品的良率。

化学药液（BHF,DHF药液等）精密温控器是专门针对 DHF（Dilute Hydrofluoric Acid，稀氢氟酸）药液设计研发的一种能够实现高精度温度控制的设备。