真空腔体冷板深低温系统

直冷型技术，-80℃高效冷凝捕获，为真空环境下的冷板提供深低温，保障真空度与工艺洁净度。

通过制冷剂直接蒸发吸热的原理，实现-150℃至35℃的宽温域调控。PTZL系列设备通过液氮直接注入系统，可实现快速降温。

立即咨询

产品推荐

加热均匀，保障扩膜质量，为晶圆划片后蓝膜扩张提供均匀、可控的加热。

扩膜机加热控温系统

-55°C～150°C三温测试，±0.1°C精准控温，为晶圆测试探针台提供高精度、快速响应的温度控制，提升测试良率

探针台气体制冷解决方案

Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、高端医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机及主要制冷部件均采用国际知名品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。