主要用于半导体流片测试设备中、提供晶圆测试所需要的温度进行精密控制,以达到测试所需要温度。
温度控制的精度可达目标温度±0.01℃,确保产线环境的稳定性及产品的良率
温度控制精度
±2%RH~±1%RH
主要用于面板厂、晶圆厂、封装测试厂精密温湿度控制
温度控制的精度可达目标温度±0.01℃,此设备可满足制程环境更精准的温控需求,确保产线环境的稳定性及产品的良率。
从芯片研发的动态测试,到前道制造的蚀刻、CVD、离子注入,我们提供贯穿半导体全产业链的温控解决方案。
化学药液(BHF,DHF药液等)精密温控器是专门针对 DHF(Dilute Hydrofluoric Acid,稀氢氟酸)药液设计研发的一种能够实现高精度温度控制的设备。