温度控制的精度可达目标温度±0.01℃，此设备可满足制程环境更精准的温控需求，确保产线环境的稳定性及产品的良率。

从芯片研发的动态测试，到前道制造的蚀刻、CVD、离子注入，我们提供贯穿半导体全产业链的温控解决方案。

化学药液（BHF,DHF药液等）精密温控器是专门针对 DHF（Dilute Hydrofluoric Acid，稀氢氟酸）药液设计研发的一种能够实现高精度温度控制的设备。