半导体级纯水温控系统 | 普泰克

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半导体级纯水温控系统

±0.3℃稳定DIW温度，保障清洗蚀刻一致性，为半导体工厂纯水系统提供大流量、高稳定性温控。

使用温度范围5~85℃，配有加热器，属于制冷加热一体机。可满足多种控温需求，可根据客户要求选配流量计和压力传感器。适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度控制。

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高纯前驱体材料温控系统

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离子注入机温控系统

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