加热均匀，保障扩膜质量，为晶圆划片后蓝膜扩张提供均匀、可控的加热。

超高纯流路，保障ppm级纯度，为ALD/CVD前驱体蒸馏、升华、输送提供精确控温。

防沉淀均匀控温，保障抛光一致性，为CMP研磨液配制、分散、存储提供稳定温度控制。

热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘，该设备系统自身带制冷系统，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一个精确可控的温度平台，可以快速加热、冷却或保持温度，